Установка вакуумная специальная модели PVM-5000
Установка предназначена для нанесения тонкопленочных износостойких покрытий титана (TI), а также его соединений с газами (TIN, TIC) (нитриды, карбонитриды). вакуумно-плазменным способом на металлические листы из нержавеющей стали большой площади.
Установка образца 2009 года, была специально разработана для нанесения покрытий нитрида титана (TiN), на металлические листы общей площадью 8 м. кв., для внешнего и внутреннего архитектурного оформления зданий, кровли куполов и крыш церквей.
В состав установки входит:
откачной пост (с высоковакуумными средствами откачки, вакуумной системы и пневмогидроаппаратурой японской фирмы CMS ;
форвакуумный агрегат в составе:
- АВЗ-20 -2 шт;
- НВР-16Д – 1 шт;
- НВД-600 – 1 шт;
электрооборудование:
- стойка управления установкой;
- линейный дуговой испаритель – 4,5 метра.
- источник питания дуговым испарителем, с автоматической системой непрерывной коммутации дуги.
- автоматическое устройство для режима очистки и осаждения.
-высокоэнергетический ионный источник.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
1 |
Предельное давление в чистой, пустой и обезгаженной камере, при охлаждении ее холодной водой, Па (мм. Рт.ст.) |
1,33х10-3 (1х10-5) |
2 |
Время достижения давления 1,33х10-3 Па, мин |
30 |
3 |
Размеры рабочей камеры, мм диаметр высота |
1000 5000 |
4 |
Количество дуговых испарителей, шт. |
1 |
5 |
Скорость осаждения покрытия, мкм/час |
15-30 |
6 |
Микротвердость покрытия, кг/мм2 |
до 2400 |
7 |
Ток дуги, А |
130-270 |
8 |
Диапазон плавного регулирования опорного напряжения низковольтного источника, В |
0-300 |
9 |
Максимальный ток подложки при нормальном режиме, А |
25 |
10 |
Мощность установки, кВт не более |
20 |
11 |
Площадь, занимаемая установкой, м2 |
20 |
12 |
Масса установки, кг |
2200 |